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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 이찬홍 |
참여연구자 | 이후상 , 박천홍 , 송창규 , 한창수 , 황주호 , 김경호 , 오윤진 |
보고서유형 | 2단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2002-08 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200800067258 |
사업명 | 특정연구개발사업<국가지정연구실사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 위치결정기술.공기/유저압 스테이지.다공질 공기 베어링.운동정밀도.가공정밀도.Positioning.Air/hydrostaic stage.Porous air bearing.Motion accuracy.Cutting accuracy. |
- 알고리즘의 CUI S/ W화 개 발 완료
- carbon graphite다공질재료를 이용한 공기베어링의 절계S/W개발 완료
- 1축 초정밀 공기stage의 시작품개발 완료(배기진동
Ultra-precision positioning technology is the best technology of current exist positioning technology in respect of resolution, repeatability, positioning accuracy and motion accuracy. It consists of following technologies : precision stage design technology, ultra-precision moving system design tec
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