초록 ▼

$\blacktriangleright$ 수정가공알고리즘에 의한 운동정밀도 향상기술 세계 최초 제안 및 실용화
- 알고리즘의 CUI S/ W화 개 발 완료
$\blacktriangleright$ 다공질 공기베어링의 국내 최초 실용화 개발
- carbon graphite다공질재료를 이용한 공기베어링의 절계S/W개발 완료
- 1축 초정밀 공기stage의 시작품개발 완료(배기진동 $\pm$2nm이내， 이송분해능 I0nm)
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$\blacktriangleright$ 수정가공알고리즘에 의한 운동정밀도 향상기술 세계 최초 제안 및 실용화
- 알고리즘의 CUI S/ W화 개 발 완료
$\blacktriangleright$ 다공질 공기베어링의 국내 최초 실용화 개발
- carbon graphite다공질재료를 이용한 공기베어링의 절계S/W개발 완료
- 1축 초정밀 공기stage의 시작품개발 완료(배기진동 $\pm$2nm이내， 이송분해능 I0nm)
$\blacktriangleright$ ceramic 공기 베 어 링 stage의 국내 최초 실용화 개발
- 볼스크류 구동형 ceramics 공기stage의 제작／ 조립기술 국산화 개발 완료
$\blacktriangleright$ 공기／ 유정압stage의 최적 성능절계기술 개발
- 최대강성 을 목적 함수로 하는 유정압stage의 CUI S/ W개 발 완료
- pneumatic hammer억제와 최대강성을 고려한 다공질 공기stage의 CUI S/ W개발 완료
$\blacktriangleright$ 공기／ 유정압stage의 운동정밀도 해석
- 전달함수를 이용하여 전체 모델에 대한 계산없이도 신속히 운동정밀도를 예측할 수 있는 유 정압 stage의 운동정밀도 해석 S/ W개발 및 이론적，실험적 검증 완료
- 전달함수를 이용한 다공질 공기 stage의 운동정밀도 해석 S/ W개발 및 이론적 검증 완료
$\blacktriangleright$ 서브미크론 가공정밀도 측정／ 분석기술
- 능동제어모세관을 이용하여 probe이송용 유정압테이블의 운동오차를 보정한 결과 직선운동오차 0.12$\mu$m, 각운동오차 0.2arcsec를 얻음
- 연삭면에 대해 측정한 결과를 straight- edge 및 반전법을 이용한 측정결과와 비교하였으며 0.03$\mu$m/250mm의 측정정밀도를 확인
$\blacktriangleright$ 나노미터 운동정밀도 측정／분석기술
- 20$\^oC$$\pm$0.5$\^oC$의 항온실에서 레이저간섭계의 위치결정정밀도 측정특성을 분석한 결과， 레이저의 온도변화에 따른 굴절율 변화로 최대 0. 100. 15$\mu$m(2$\sigma$） 의 반복오차를 갖게 됨을 확인．
- Edlen의 보정식을 이용하여 온도변화에 따른 오차를 보정한 결과， 측정값의 반복오차가 최대 0. 05$\mu$m(2$\sigma$）까지 향상됨

Abstract ▼

Ultra-precision positioning technology is the best technology of current exist positioning technology in respect of resolution, repeatability, positioning accuracy and motion accuracy. It consists of following technologies : precision stage design technology, ultra-precision moving system design tec

Ultra-precision positioning technology is the best technology of current exist positioning technology in respect of resolution, repeatability, positioning accuracy and motion accuracy. It consists of following technologies : precision stage design technology, ultra-precision moving system design technology, ultra-precision system control technology, ultra-precision measurement and compensation technology. In this research, the goal is acquisition of design, measurement and assesment technologies for ultra-precision positioning system. For achieving the goal, a moving system driven by ball-screw which has 2 nm resolufion and 10 nm repeatability is manufactured and a moving system driven by linear motor which has 5 nm resolution and 20 nm repeatability is manufactured.

목차 Contents

• 제1장 연구개발과제의 개요...16
• 제1절 초정밀위치결정기술의 개요...16
• 제2절 연구개발의 필요성...19
• 제3절 연구개발목표 및 내용...22
• 제2장 국내외 기술개발 현황...24
• 제1절 해외에서의 연구개발 실적...24
• 제2절 국내에서의 연구개발 실적...24
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과...26
• 제1절 다공질 공기베어링 stage의 설계기술 개발...26
• 제2절 전달함수를 이용한 정압테이블의 운동정밀도 해석...48
• 제3절 정압테이블의 수정가공알고리즘 개발...74
• 제4절 서브미크론 가공정밀도 측정기술 개발...98
• 제5절 공기stage의 위치결정특성 해석 및 안정화기술 개발...109
• 제6절 이송/제어계의 강성 모델링 및 취약부 규명기술...118
• 제7절 위치결정시스템의 5자유도 운동해석기술 개발...126
• 제8절 스테이지의 위치결정정도/운동정밀도 평가기술...137
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...143
• 제5장 연구개발결과의 활용계획...147
• 제6장 참고문헌...148