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[국가R&D연구보고서] 응력 및 표면 고장물리를 고려한 MEMS 신뢰성 설계 기술
Reliability Design of MEMS based on the Physics of Failures by Stress & Surface Force 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 이학주
참여연구자 최병익 , 한승우 , 김정엽 , 김재현 , 현승민 , 김경식 , 이상주 , 최현주
보고서유형1단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2007-06
주관부처 과학기술부
연구관리전문기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200800067834
사업명 특정연구개발사업>전자부품신뢰성설계기술사업
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 멤스.신뢰성 설계.응력.표면.고장물리.MEMS.Design for Reliability.Stress.Surface.Physics of Failure.

초록

1. 연구 목표
응력 및 표면 고장물리 분석을 통한 신뢰성 예측 모델 개발
- 고장지배인자 도출 및 물성시험장치 개발
- 소재물성 및 고장지배인자 시험/평가
- PoF 기반 고장 메커니즘 모델 개발

1차년도
고장지배인자 도출 및 물성시험장치 개발
- 응력 및 표면 고장 지배인자 도출
(기계적물성, 계면접합강도, 피로, 파괴, 좌굴, 잔류응력, 마모, 부식, 점착, 습도, 열사이클 등)
- MEMS Actuator 해석/개념설계검토
- 기계적물성 시험장치, 방법 개발

Abstract

1 year
2004
Identification of failure dominant factor and development of property tester
- Identify stress and surface failure
dominant factor
(mechanical property, interfacial joint
strength, fatigue, failure, bending, residual
stress, friction, corrosion, adhesion,

목차 Contents

  • 제 1 장 연구개발과제의 개요...17
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황...23
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...27
  • 3.1 응력 및 표면 고장 지배인자 도출 ...27
  • 3.2 MEMS Actuator 해석/설계...32
  • 3.3 소재물성 시험...55
  • 3.4 MEMS Actuator 제작공정...82
  • 3.5 고장지배인자 시험...94
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...113
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...115
  • 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...117
  • 제 7 장 참고문헌...119
  • 연구결과 활용계획서...121

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