보고서 정보
주관연구기관 |
한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
연구책임자 |
이학주
|
참여연구자 |
최병익
,
한승우
,
김정엽
,
김재현
,
현승민
,
김경식
,
이상주
,
최현주
|
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 |
한국어
|
발행년월 | 2007-06 |
주관부처 |
과학기술부 |
연구관리전문기관 |
한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 |
TRKO200800067834 |
사업명 |
특정연구개발사업>전자부품신뢰성설계기술사업 |
DB 구축일자 |
2013-04-18
|
키워드 |
멤스.신뢰성 설계.응력.표면.고장물리.MEMS.Design for Reliability.Stress.Surface.Physics of Failure.
|
초록
▼
1. 연구 목표
응력 및 표면 고장물리 분석을 통한 신뢰성 예측 모델 개발
- 고장지배인자 도출 및 물성시험장치 개발
- 소재물성 및 고장지배인자 시험/평가
- PoF 기반 고장 메커니즘 모델 개발
1차년도
고장지배인자 도출 및 물성시험장치 개발
- 응력 및 표면 고장 지배인자 도출
(기계적물성, 계면접합강도, 피로, 파괴, 좌굴, 잔류응력, 마모, 부식, 점착, 습도, 열사이클 등)
- MEMS Actuator 해석/개념설계검토
- 기계적물성 시험장치, 방법 개발
1. 연구 목표
응력 및 표면 고장물리 분석을 통한 신뢰성 예측 모델 개발
- 고장지배인자 도출 및 물성시험장치 개발
- 소재물성 및 고장지배인자 시험/평가
- PoF 기반 고장 메커니즘 모델 개발
1차년도
고장지배인자 도출 및 물성시험장치 개발
- 응력 및 표면 고장 지배인자 도출
(기계적물성, 계면접합강도, 피로, 파괴, 좌굴, 잔류응력, 마모, 부식, 점착, 습도, 열사이클 등)
- MEMS Actuator 해석/개념설계검토
- 기계적물성 시험장치, 방법 개발
2차년도
소재물성 및 고장지배인자 시험/평가
- 물성시험 시편 설계 및 제작
- 소재물성 시험 및 소재물성 DB 구축
- 소재물성을 고려한 MEMS Actuator 해석/설계
- 고장지배인자 시험장치구성 및 시험(분위기 시험)
3차년도
PoF 기반 고장 메커니즘 모델 개발
- MEMS Actuator 신뢰성 시험
- PoF(Physics of Failure) 기반 고장 메커니즘모델 개발 및 DB 구축
- 소재물성 및 고장 인자를 고려한 MEMS Actuator 해석/상세설계
- 고장방지 방안 도출
Abstract
▼
1 year
2004
Identification of failure dominant factor and development of property tester
- Identify stress and surface failure
dominant factor
(mechanical property, interfacial joint
strength, fatigue, failure, bending, residual
stress, friction, corrosion, adhesion,
1 year
2004
Identification of failure dominant factor and development of property tester
- Identify stress and surface failure
dominant factor
(mechanical property, interfacial joint
strength, fatigue, failure, bending, residual
stress, friction, corrosion, adhesion,
humidity, thermal cycle etc.)
- MEMS Actuator analysis/concept design
study
- Development of mechanical property
tester and method
2 year
2005
Materials property and failure dominant factor test/evaluation
- sample design and fabrication for
property test
- Material property test and material
property DB construction
- Analysis and design of MEMS Actuator
based on material property
- Failure dominant factor tester assembly
and test (Environment test)
3 year
2006
PoF based failure mechanism model development
- MEMS Actuator reliability test
- Development of PoF(Physics of Failure)
based failure mechanism model and DB
construction
- Analysis and detail design of MEMS
actuator based on material property and
failure factor
- Find failure prevention method
목차 Contents
- 제 1 장 연구개발과제의 개요...17
- 제 2 장 국내외 기술개발 현황...23
- 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...27
- 3.1 응력 및 표면 고장 지배인자 도출 ...27
- 3.2 MEMS Actuator 해석/설계...32
- 3.3 소재물성 시험...55
- 3.4 MEMS Actuator 제작공정...82
- 3.5 고장지배인자 시험...94
- 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...113
- 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...115
- 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...117
- 제 7 장 참고문헌...119
- 연구결과 활용계획서...121
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.