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NTIS 바로가기주관연구기관 | 아이티엠(주) ITM Inc |
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연구책임자 | 서용운 |
참여연구자 | 정희섭 , 김윤택 , 조상무 , 한희민 , 최시영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-10 |
과제시작연도 | 2002 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900073003 |
과제고유번호 | 1350000012 |
사업명 | 특정연구개발사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 투명전도성 박막.스퍼터링.이온빔 전처리.대면적 코팅.밀착력.Transparent conductive film.Sputtering.Ion-beam pre-treatment.Large area coating.Adhesion. |
본 연구에서는 70"급 대면적 글라스코팅 양산기술 개발을 위해 1차년도에 상압플라즈마에 의한 유기물 세정을 위한 환경친화적 세정기술을 확립하였으며, 진공중 세정에 의한 박막 밀착력 향상시켰으며, 증착속도 ITO박막 기준 500
- Industrialization of the glass coating equipment for producing 70" PDP
- Development of a coating equipment for producing a large area coated glass
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