초록 ▼

본 연구에서는 다이아몬드 박막의 성장을 위해 수직 상승 flow형의 hot-filament CVD법과 microwave plasma CVD법을 채택하고, 특히 성장 도중 공기 중에서 시료를 노출시키지 않은 채 XPS, AES 및 LEED 등의 표면 분석을 통하여 성장 중의 박막의 물리 화학적 및 구조의 변화를 관찰하고자 한다. 아울러 성장 후 다이아몬드의 morphology, 순도 및 결정성은 SEM, AFM, micro-Raman 및 TEM 등으로 확인할 계획이다. 특히 효과적인 핵생성의 근원을 밝히기 위하여 각 연구원의 과제에서

본 연구에서는 다이아몬드 박막의 성장을 위해 수직 상승 flow형의 hot-filament CVD법과 microwave plasma CVD법을 채택하고, 특히 성장 도중 공기 중에서 시료를 노출시키지 않은 채 XPS, AES 및 LEED 등의 표면 분석을 통하여 성장 중의 박막의 물리 화학적 및 구조의 변화를 관찰하고자 한다. 아울러 성장 후 다이아몬드의 morphology, 순도 및 결정성은 SEM, AFM, micro-Raman 및 TEM 등으로 확인할 계획이다. 특히 효과적인 핵생성의 근원을 밝히기 위하여 각 연구원의 과제에서는 다이아몬드와 열팽창 계수와 격자상수가 비교적 근접한 SiC나 다이아몬드 박막증착에 촉매특성을 갖는 것으로 알려진 Ti 완충층의 삽입(주관연구책임자), 경사진 계단형의 Si 기판 도입(공동연구원1), 교류바이어스와 전이금속 계면활성제를 이용하는 방법(공동연구원2)을 각각 채택하고자 한다.

Abstract ▼

For the diamond film growth, the hot filament CVD using the vertical upflow reactor and the microwave plasma CVD will be employed. Especially, through connecting the growth and the analysis chambers, the in-situ surface analyses such as XPS, AES, and LEED will be conducted to observe the evolution o

For the diamond film growth, the hot filament CVD using the vertical upflow reactor and the microwave plasma CVD will be employed. Especially, through connecting the growth and the analysis chambers, the in-situ surface analyses such as XPS, AES, and LEED will be conducted to observe the evolution of physical, chemical, ant structural properties during film depostion. Ex-situ analyses like SEM, AFM, and micro-Raman will be used to ascertain the relative purity, and the crystallinity. For the investigation of nucleation origins, in the sub-projects, the substrate modification such as the buffer layer of either SiC with relatively well-matching lattice-constant and thermal expansion coefficient or Ti known as a catalyst for diamon deposition, the vicinal stepped-Si substrates, and the application of AC bias and transition metal surfactants will be tested, respectively.

목차 Contents

• I. 연구계획 요약문...3
• 1. 국문요약문...3
• II. 연구결과 요약문...4
• 1. 국문요약문...4
• 2. 영문요약문...5
• III. 연구내용...7
• 1. 서론...7
• 2. 연구방법 및 이론...9
• 3. 결과 및 고찰...14
• 4. 결론...66
• 5. 인용문헌...67