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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)다원시스 |
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연구책임자 | 유효열 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-06 |
과제시작연도 | 2002 |
주관부처 | 중소기업청 |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201000015366 |
과제고유번호 | 1420018735 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 특고압.반도체스위치.플라즈마.이온임플랜트.모듈레이터 아크 보호.상승시간.하강시간.펄스전압.펄스전류. |
1. 기술개발목표
60kV, 3000kW 펄스 출력을 갖는 플라즈마 이온 주입 장비를 위한 펄스 모듈 레이터 개발.
2. 기술개발의 목적 및 중요성
물체 표면에 플라즈마 이온을 주입하면 이온이 물체 표면에 들어가 그 부위의 물리적 내지는 화학적 성질을 변화시켜 새로운 소재를 만들어 낸다 이런 성질을 이용하여 공구나 각종 기계 부품의 표면처리에 널리 사용되고 있다. 경쟁기술인 PVD 및 CVD에 비해 처리비용이 훨씬 저렴하고 소재의 형상 및 크기에 대한 수용범위가 월등히 크다는 점에서 향후 응용분야의 확대가 기대된다.
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