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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국산업기술대학교 Korea Polytechnic University |
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연구책임자 | 전환진 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-03 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900020201 |
과제고유번호 | 1711067660 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-04-18 |
키워드 | 표면구조.플라즈마.이온 봄바드먼트.초고분해능.3차원 구조.고종횡비.표면 특성.리소그래피.나노패턴. |
□ 연구개요
가속 이온-입자간의 화학반응과 물리적인 에너지 전달을 기반으로, 식각과 증착이 동시에 진행되는 플라즈마 기술을 이용하여 다양한 소재의 최소 10 nm 분해능과 수백nm 까지 분해능이 조절 가능한 3차원 표면구조를 원하는 형태와 크기로 대면적으로 제작할 수 있는 차세대 표면구조화 기술을 개발하는 연구를 진행함. 또한, 이러한 크기-간격의 미세제어와 다성분계 구조체를 제작하고 전기적/광학적 특성을 제어하여, 유연 투명전극, 불균일 촉매 등의 고성능 미래소자에 응용할 수 있는 목적형 기판 설계 및 공정 기술을 확보함.<
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