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NTIS 바로가기주관연구기관 | 코웰정밀(주) |
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연구책임자 | 이종대 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-05 |
과제시작연도 | 2002 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201000015571 |
과제고유번호 | 1420018134 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 진공도.배기성능.도력.소음.반도체 제조용 펌프.2단압축.비접촉 여유최적설계 및 가공. |
개발되어 시판되어지고 있는 단단형의 건식 스크류형 진공펌프는 한국의 KOWEL사, 일본의 TAIKO KIKA사, 독일의 BUSCH사에서 개발되어져 있으며 피치가 등분피치로 되어있어 단단 압축으로 인한 토출부의 고열발생의 단점이 있다. 이러한 단점을 보완하여 개발되어지는 2단압축의 스크류형 진공펌프는 CASING내부에 피치가 다른 2종의 스크류를 조합하여 2단압축하는 형식으로써 기존 스크류형 진공펌프보다 배기성능이 우수하며 2단압축이 이루어지는 압축열을 CASING 외벽의 WATER JACKET을 통하여 일부 냉각됨으로써 압축열을 낮
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