최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 경북대학교 KyungPook National University |
---|---|
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-04 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201000017745 |
과제고유번호 | 1345105401 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 적외선 영상 센서,마이크로 볼로미터,니켈 산화막,reactively 스퍼터링,온도저항 계수,저잡음,온도분해능Infrared Image Sensor,Microbolometer,MEMS,Nickel Oxide,Reactively Sputtering,TCR,Low noise,NETD |
비냉각방식의 적외산 센서인 마이크로 불로미터는 온도저항계수(TCR, Temperature Coefficient of Resistance) 가 크고 잡음 성능이 좋은 물질을 사용할 필요가 있다. 현재 개발되어 주로 사용되고 있는 적외선 감지물질은 바냐륨 산화막(<TEX>$VO_x$</TEX>) 과 비정질실리콘 (a-Si)이다. <TEX>$VO_x$</TEX>는 여러 종류의 위상을 가지고 있어 재현성 및 안정성이 좋지 않으며, a-Si는 구조적 특정 때문에 높은 전기적 잡음특성을 나타내는 단점
Microbolometric uncooled infrared detector requires high a TCR(temperature coefficient of resistance) and low noise characteristics for the advanced performance. Yanadium oxide(<TEX>$VO_x$</TEX>) and amorphous silicon(a-Si) have been widely used even though the unstability results from s
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.