최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 영남대학교 YeungNam University |
---|---|
연구책임자 | 김규호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-12 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100008650 |
과제고유번호 | 1425046584 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
a. 스퍼터링을 이용한 투명전극 박막제조에서 기판온도 저감설계
b. 기판온도 저감설계한 스퍼터링으로 증착한 박막의 특성 평가
2. 개발내용 및 결과
a. 스퍼터링 구조 변경 설계로 기판 과열 방지
b. 개량 스펏터링에 의한 투명전극 박막 증착 및 특성 평가
? 다은테크 설계 제작한 투명전극 제조용 스펏터 기판의 온도 저감 및 개량 설계 제작한 스펏터의 반응 변수 박막 특성에의 영향 확인
(타겟-기판간 거리,각도 조정/증착변수 조정/ 플라즈마 분위기 조정/)
c. 산업용 스퍼
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.