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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 김형태 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-05 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100012975 |
과제고유번호 | 1425058445 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
? 두 장의 wafer를 동시에 정렬할 수 있는 dual wafer pre-aligner 개발
- 두 장의 wafer를 동시에 mount 및 rotation 가능한 기구부 설계 및 제작
⇒ wafer size = 150~300mm, θ accuracy < ±0.05°
- 두 장의 wafer의 profile을 실시간 monitoring, 측정 방법 및 기구 개발
- 측정된 신호로부터 profile 및 편차량(misalignment)을 계산하는 post-processing ⇒ accuracy <
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