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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 최진영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-01 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 중소기업청 |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201100013243 |
과제고유번호 | 1425045151 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
· 공정모니터 신호만으로 공정의 상태를 판단하는 알고리즘 개발
· 공정의 이상신호 검출알고리즘 개발
· 이상신호의 분류 및 진단 알고리즘 개발
2. 개발내용 및 결과
· 순차적인 사슬 형태로 구성된 지지벡터기반의 영역묘사(Support Vector Data Description, SVDD) 분류기를 사용한 공정 이상 검출 방법 개발
· 공정 이상 검출 시스템 GUI 개발
· 특허 1건 출원
3. 사업성과
○ 기술적 성과
· 챔버내에서 진행되는 플라즈마 상태를 실시간
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