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보고서 상세정보

이종 접합 구조를 가진 세라믹 정전척 개발

과제명 이종 접합 구조를 가진 세라믹 정전척 개발
주관연구기관 수원대학교 산학협력단
연구책임자 강동헌
참여연구자 이일회, 이홍선
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2011-05
과제시작년도 2010
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 한국산업기술평가관리원 (중기청)
등록번호 TRKO201100015244
과제고유번호 1425064989
사업명 산학연공동기술개발
DB 구축일자 2013-04-18
초록

1. 최종목표
이종 접합 구조를 가진 세라믹 정전척 개발 (Coulomb Force 정전척)
? 정전력 : 30 gf/cm2 이상 @ 2500 V
? Breakdown Voltage : No breakdown @ 15...

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