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NTIS 바로가기주관연구기관 | (사)고등기술연구원 |
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연구책임자 | 김상식 |
참여연구자 | 장홍기 , 신중욱 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-04 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 산업자원부 Korea Institute for Industrial Economics and Trade |
등록번호 | TRKO201200004147 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 플라즈마.인쇄회로기판.디스미어.비아홀.폴리이미드.표면 개질.Plasma.PCB(Printed Circuit Board).Desmear.Via-hole.Polyimide.Surface treatment. |
1. 플라즈마 디스미어 공정 기술 지원
- 지원기업의 플라즈마 디스미어 공정 개선을 위한 기술 교육
- 공정 기술 개발을 위한 보유 시스템 진단 및 장비 보완 기술지원
- 디스미어 공정 확보를 위한 현장 테스트 지원
- via-hole 지름 1,5 um에서의 디스미어 공정 및 resin 층의 재질에 따른 식각 공정 기술 지원
2. Polyimide의 표면 개질 공정 기술 지원
- AFM 분석을 통한 polyimide 표면 변화 분석
- 공정별 플라즈마 처리된 Polyimide의 표면의 Lay u
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