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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 장홍영 |
참여연구자 | 서상훈 , 이중희 , 장철희 , 임용환 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-08 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201200004227 |
과제고유번호 | 1415079211 |
사업명 | 부품소재산업경쟁력향상사업 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
1. ICP와 CCP가 결합된 Plasma source에 대한 특허 및 문헌자료 지원
2. CCP 플라즈마의 RF파워 전달효율 측정 및 해석
3. CCP 장비에서 RF field의 시뮬레이션 및 해석
4. RF 주파수에 따른 이온 에너지 특성측정 및 해석
5. 공정과 플라즈마 특성간의 연관성 해석 및 공정제어 메커니즘 제시
6. 식각 특성의 외부 의존성 규명 및 해석 지원
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