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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
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연구책임자 | 김주호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2023-06 |
과제시작연도 | 2022 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO202300005817 |
과제고유번호 | 1345350494 |
사업명 | 이공학학술연구기반구축 |
DB 구축일자 | 2023-09-13 |
키워드 | 차세대 플라즈마 소스.고밀도/고효율 플라즈마.균일도 제어.유도 결합 플라즈마.용량 결합 플라즈마.Next-Generation Plasma Source.High-density/High-efficiency Plasma.Uniformity Control.Inductively Coupled Plasma.Capacitively Coupled Plasma. |
연구개발 목표 및 내용
최종 목표
1차 년도 : ICP에서 고밀도/고효율 소스 개발 및 플라즈마 전자 동역학 연구
2차 년도 : CCP에서 고밀도/고효율 소스 개발 및 대칭성 플라즈마 생성 연구
3차 년도 : MRWPT 기술의 응용 및 심화 연구
전체 내용
연구개발성과
고밀도/고효율의 ICP, CCP 및 hybrid 소스 개발
연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
- 고효율 플라즈마 소스 원천기술 개발을 통해, 반도체 및 디스플레이 공정, 의료, 농업, 우주 산업 등 플
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