초록

- 이트리아코팅의 반도체 공정장비에의 적용가능성 확보
- 반도체의 생산효율 향상에 적극 기여
- 원자재 수입 대체효과 및 반도체 제조장치의 국산화율의 향상

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 중소기업신뢰성향상지원사 ... 3
• 업무 보고서 초록 ... 4
• 목차 ... 5
• 제1장 신뢰성 향상 기술지원의 개요 ... 7
• 제1절 적용제품 및 기술 ... 7
• 제2절 지원의 필요성 및 지원범위 ... 7
• 제3절 국내외기술현황 ... 8
• 제2장 신뢰성 향상 지원목표 및 내용(계획) ... 9
• 제1절 최종목표 ... 9
• 1. 쿼츠 소재의 플라즈마 저항성에 대한 신뢰성 평가 기초 자료 확보 ... 9
• 2. 신뢰성 향상 목표 ... 9
• 제2절 지원내용 ... 9
• 1. 고장원인 분석방법 ... 9
• 2. 고장원인 해결방안 ... 10
• 제3장 신뢰성 향상 지원 결과 ... 11
• 제1절 쿼츠 소재의 표면과 식각현상 ... 11
• 제2절 기존 제품의 문제점 분석 ... 14
• 제3절 잔류응력 완화형 플라즈마 저항성 코팅 ... 16
• 제4절 플라즈마 저항성 코팅 신뢰성 향상을 위한 과제 ... 17
• 제4장 플라즈마 저항성 이트리아 코팅의 신뢰성 향상 기술의 적용 ... 19
• 제1절 졸-겔법을 이용한 이트리아 코팅기술의 개발 ... 19
• 제2절 적용제품에 대한 대면적 코팅기술개발 ... 20
• 제3절 장치 적용을 위한 신뢰성 평가 ... 21
• 1. 미세구조에 대한 평가 ... 21
• 2. 불순돌 분석 ... 23
• 3. 플라즈마 저항성 평가 ... 26
• 가. Y2O3 코팅의 플라즈마 저항성의 상대적 평가 ... 26
• 나. 플라즈마 저항성 테스트 ... 27
• 다. 플라즈마저항성 평가 후의 미세구조의 변화 ... 29
• 라. Y2O3 코팅의 4 inch 쿼츠 웨이퍼에의 적용 ... 30
• 마. Y2O3 코팅의 플라즈마 저항성의 정량적 평가 ... 31
• 바. 광학적 특성 ... 33
• 4. Y2O3 coating의 역학적 물성평가 ... 35
• 가. 박리된 표면에 대한 평가 ... 35
• 나. Scratch tester에 의한 평가 ... 36
• 다. Nano tribo-indentation ... 40
• 제5장 실장테스트를 위한 추진실적 및 결론 ... 41
• 제1절 업체 사용조겅 현황 ... 41
• 제2절 반도체 소자사와의 제품에 대한 신뢰성 평가 ... 42
• 제3절 적용성 평가 ... 43
• 제4절 전시회 참가 ... 43
• 제5절 신뢰성 향상지원결과와 매출증대 및 결론 ... 47