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연합인증

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Pulsed Cathodic Arc 공정기술을 이용한 탄소계 박막의 droplet 생성제어 기술 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
연구책임자 김성완
참여연구자 김상권 , 문경일 , 조용기
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2006-12
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 한국산업기술진흥원
등록번호 TRKO201200004982
DB 구축일자 2013-04-18

초록

○. Pulsed Cathodic Arc 소스의 부품이전을 통한 장비제작 검토
- 사양서 및 부품이전 도입 검토
- φ 600의 진공장비에 부착 가능여부
- 가스유량ㆍ전극에 따른 특성 검토
- DLC층의 물리적ㆍ기계적 특성 검토
○. 부품 이전 후의 기술 및 공정 기술 검토
- 전극 재료 및 부품 및 장비의 국산화
- Micor electronics
- 나노층 생성기술 및 전도성 전극 형성 기술
○ DLC 코팅층 분석 기술 지원, 응용 분야 개발 및 정공제공

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 기술지원성과 요약서 ... 3
  • 목차 ... 12
  • 제 1 장 서론 ... 13
  • 제 1 절 기술지원 필요성 ... 13
  • 제 2 절 기술지원 목표 ... 15
  • 제 3 절 기술지원 내용 ... 16
  • 제 2 장 본론 ... 17
  • 제 1 절 기술지원 성과 ... 17
  • 제 2 절 기술지원 수행 ... 64
  • 제 3 장 결론 ... 65
  • [참고문헌] ... 67

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참고문헌 (25)

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