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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 김성완 |
참여연구자 | 김상권 , 문경일 , 조용기 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2006-12 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술진흥원 |
등록번호 | TRKO201200004982 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
○. Pulsed Cathodic Arc 소스의 부품이전을 통한 장비제작 검토
- 사양서 및 부품이전 도입 검토
- φ 600의 진공장비에 부착 가능여부
- 가스유량ㆍ전극에 따른 특성 검토
- DLC층의 물리적ㆍ기계적 특성 검토
○. 부품 이전 후의 기술 및 공정 기술 검토
- 전극 재료 및 부품 및 장비의 국산화
- Micor electronics
- 나노층 생성기술 및 전도성 전극 형성 기술
○ DLC 코팅층 분석 기술 지원, 응용 분야 개발 및 정공제공
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