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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

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반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드의 실시간 자동측정 공정 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 스텝시스템(주)
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2009-12
과제시작연도 2008
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201200005534
과제고유번호 1425051542
사업명 생산환경혁신기술개발
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 프로브카드.반도체검사.얼라인공정.얼라인먼트.비접촉3차원측정.

초록

1. 프로브카드 제조 생산성 향상(200% 이상 효과 예상)
2. 프로브카드의 Repair(수리공정) 공정 Skip(10% 이상 원가절감)
3. 후 공정(Alignment 공정) 단순화 및 생산성 향상(100% 이상효과)
4. 실시간 Data 확보를 통한 통계적 수치관리 체계 Setup(제조인력관리)

목차 Contents

  • 생산환경혁신기술개발사업 최종보고 제출서 ... 1
  • 제 출 문 ... 3
  • 요 약 서 (초 록) ... 4
  • 1. 개발기술의 개요 ... 5
  • 1-1. 개발기술의 정의 및 필요성 ... 5
  • 1-2. 기술개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 7
  • 2. 관련기술의 현황 및 개발목표 ... 8
  • 2-1. 관련기술 현황 ... 8
  • 2-2. 개발목표 및 내용 ... 9

참고문헌 (25)

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