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실리콘 염소화를 통한 사염화규소 제조기술 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 공주대학교
Kongju National University
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2012-05
과제시작연도 2011
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
과제관리전문기관 한국산학연협회
Korea Association of University, Research Institute and Industry
등록번호 TRKO201200008555
과제고유번호 1425068666
사업명 산학연협력기술개발
DB 구축일자 2013-05-20

초록 ▼

본 기술의 개발은 실리콘의 염소화 공정을 통해 합성석영유리, 합성실리카, 광섬유, Fumed Silica, TEOS, TMOS, 질화규소, 탄화규소 등을 제조하기 위한 출발물질인 사염화규소(SiCl4)의 제조기술 개발이다.
사염화규소(SiCl4)는 대표적으로 삼염화실란(SiHCl3), 모노실란(SiH4)과 더불어 반도체를 제조하기 위한 출발 물질로 그 구조 및 물리적 특성은 다음과 같다. 사염화규소(SiCl4) 제조방법은 일반적으로 규사, 목탄의 코크스 등 탄소와 염소를 원료로 하여 고온반응을 통해 제조하는 방법과 금속규소를

목차 Contents

  • 『산학연공동기술개발사업』과제별 사업비사용실적보고서 ... 1
  • 개발결과 의견서 ... 7
  • 최종보고 요약서 ... 8
  • 목차 ... 9
  • 제 1 장 서론 ... 10
  • 제 1절 기술의 개요 ... 10
  • 제 2절 기술 개발의 필요성 ... 12
  • 제 3절 기술의 활용 현황 ... 14
  • 제 2 장 과제개발 내용 및 방법 ... 15
  • 제 1 절 실험 ... 15
  • 제 2 절 사염화규소(SiCl4) 합성 ... 18
  • 제 3 절 사염화규소(SiCl4) 고순도화 ... 24
  • 제 3 장 사업성과 ... 30
  • 제 1 절 기술적 성과 ... 30
  • 제 2 절 경제적 성과 ... 30
  • 제 3 절 기타 성과 ... 31
  • 제 4 장 결론 ... 32
  • 제 1 절 사염화규소 합성 ... 32
  • 제 2 절 향후 계획 ... 32

참고문헌 (25)

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