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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)디엠에스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-08 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201300008382 |
과제고유번호 | 1415113632 |
사업명 | 신재생에너지기술개발(전력) |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 세정기.에칭장비.자동반송시스템. |
고하중 고평탄 반송을 위한 구동 parts 내구성 강화 및 shaft pitch 최적화
고속반송을 위한 Air knife 건조 장치 개발
세정 모듈 개발 및 최적화 배치
TCO 박막 Texturing 공정 최적화
자동 반송 시스템 및 운영 시스템 개발
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