최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
---|---|
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-12 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 Ministry of Education and Science Technology(MEST) |
등록번호 | TRKO201300011996 |
과제고유번호 | 1345154748 |
사업명 | 중견연구자지원 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
키워드 | 산화물박막 트랜지스터.투명 반도체 박막.투명 전자소자.마스크 절감 소자 설계.그레이톤 마스크.TFT 공정기술.전계효과 이동도.광투과율.저온 공정.Oxide thin films.Transparent electronic devices.Oxide-TFTs.Mask-reduction method.Gray-tone mask.High-mobility oxide thin films.Optical transmittance.Stress effects.Degradation mechanism. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201300011996 |
연구의 목적 및 내용
본 연구에서는 투명 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)를 구성하는 산화물(oxide) 기반의 채널(channel) 반도체층, 게이트(gate) 절연체층 및 소스/드레인(source/drain) 전극 도전체층 등 각 단위 박막재료의 우수한 물성 확보를 위한 박막 성장기술 개발 및 소자 제작공정의 최적화를 위한 새로운 mask-level 저감기술 개발 등에 대한 체계적인 연구를 수행하고, 이를 통하여 차세대 평판 디스플레이의 구동 소자로서 상용화가 가능한 산화물 기반 고성능, 고신
Purpose & contents
The purpose of this project is to develop novel thin film materials and device fabrication technologies for oxide-based transparent thin film transistors with high performance and reliability.
Result
The main results obtained through this project are as follows:
● Depo
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.