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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 김병섭 |
참여연구자 | 노승국 , 박종권 , 이성철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-01 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
연구관리전문기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO201300021624 |
과제고유번호 | 1415118451 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2013-12-21 |
키워드 | 고가속.자기베어링.진동저감.초정밀.스테이지.High Acceleration.Magnetic Bearing.Vibration Suppression.High Precision.Stage. |
본 과제는 차세대 반도체 장비 개발에 활용이 가능한 진동저감 고가속 자기베어링 이송 시스템 기술을 개발하는 과제로 3년간의 연구를 걸쳐 최종 5G (49 m/s2) 이상 가감속이 가능한 능동형 진동감쇠 자기베어링 스테이지 개발을 완료하였음.
1. 자기베어링 스테이지 1차, 2차 프로토타입 설계 및 제작, 성능 검증
- 3G급 자기베어링 스테이지의 상세설계 및 제작 (2차년도)
- 5G급 자기베어링 스테이지의 상세설계 및 제작 (3차년도 최종)
- 1차 프로토타입 자기베어링 스테이지 크기 283 mm(W) x 1
The rapid developments in semiconductor industry demand innovative solutions to continuously push the frontiers of the achievable and there has been a huge demand for vacuum environment to increase productivity. To prepare for future technology, we set a goal to develop a high acceleration magnetic
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