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국가RnD연구보고서의 원문 비공개 사유

1. 「산업기술의 유출방지 및 보호에 관한 법률」 제2조제2호에 따른 국가
    핵심기술 관련 연구개발과제를 수행한 경우
2. 「소재ㆍ부품ㆍ장비산업 경쟁력강화를 위한 특별조치법」 제2조 제3호에
    따른 핵심전략기술 관련 연구개발과제를 수행한 경우
3. 법 제21조제2항에 따라 보안과제로 분류된 연구개발과제를 수행한 경우
4. 연구개발기관의 장이 해당 연구개발성과에 대하여 지식재산권을 취득
    하려는 경우
5. 외국의 정부ㆍ기관ㆍ단체와의 협정ㆍ조약ㆍ양해각서 등에 따라 해당
    연구개발기관의 장이 비공개를 요청하는 경우
6. 「대ㆍ중소기업 상생협력 촉진에 관한 법률」 제24조의 2에 따라 중소
    기업이 연구개발성과를 임치한 경우
7. 그 밖에 영업비밀 보호 등 정당한 사유가 있는 경우

※ 국가연구개발혁신법 시행령 (2022.1.1 시행)에 의해 추후 공개로 전환될
    가능성은 있습니다.

과제관리기관과의 협의를 통하여 비공개 기한(3년)이 만료된 보고서를 공개로
전환할 수 있도록 계속적으로 관리되고 있으며, 현재 비공개 처리된 보고서의
열람이 어려운 점 양해 부탁드립니다.

보고서 상세정보

첨단측정장비 요소기술 개발

Development of Core Technology for Advanced Instruments

과제명 첨단측정장비 요소기술 개발
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자 안상정
참여연구자 김달현, 김원동, 김주황, 박병천, 박인용, 박창준, 배문섭, 송운, 유현웅, 이상선, 이주인 ...  
보고서유형 1단계보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2012-10
과제시작년도 2012
주관부처 미래창조과학부
KA
사업 관리 기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호 TRKO201300031652
과제고유번호 1345196028
DB 구축일자 2013-12-21
키워드 전자광학,이온광학,타원계측,단면 AFM,TR MOKE 현미경electron optics,ion optics,ellipsometry,cross section AFM,FE-SEMPA,TR MOKE microscopy
초록

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
1. 하전입자 측정장비 요소기술 분야
◦ 전자선의 전계방출실험 및 관련 부품의 독자 개발
◦ 이온원, 이온광학계 요소기술 개발 및 질량분석기 성능 향상
2. 나노형상 3차원 측정기술...

Abstract

Ⅲ. Contents and Scope
1. Development of advanced instruments using charged particle beams
◦ Development of shottky-type FE g...

목차
Contents