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NTIS 바로가기연구책임자 | 박남선 |
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참여연구자 | 이배진 , 홍병성 , 박현화 , 라문갑 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-06 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 |
등록번호 | TRKO201300032149 |
과제고유번호 | 1415127752 |
사업명 | 부품소재산업경쟁력향상(소재부품기술기반혁신) |
DB 구축일자 | 2014-01-13 |
키워드 | 플라즈마.신뢰성 향상.전극 온도 유지.시스템장비 평가법.전극 조립체. |
1. 최종 목표
플라즈마 장비의 신뢰성을 확보하고자 주요 고장 모드인 전극 파손 및 누수로 인한 고장과 전극 온도 유지 시스템고장 및 냉온수 순환 불량에 의한 전극성능저하 개선하여 신뢰성 목표 수준을 확보하는 것이다. 목표 수준은 세계최고수준의 장치를 제작하고 있는 미국과 일본 장치를 사용하고 있는 고객으로부터 입수한 정보롤 바탕으로 선정하였다. 현재 플라즈마 전극과 전극 온도유지 시스템의 신뢰성 수준은 22,000시간 이지만 이번 사업을 통하여 세계최고 수준인 40,000 시간을 목표로 한다.
2. 신뢰성 문제점 현황<
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