최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 창원대학교 Changwon National University |
---|---|
연구책임자 | 여준청 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-11 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201400008229 |
과제고유번호 | 1345170047 |
사업명 | 기본연구지원사업(유형I) |
DB 구축일자 | 2014-06-07 |
TiN 및 TaN 박막을 마그네트론 스퍼터링 및 전자 빔 증착 법으로 증착 하였다. 반응 가스로 N2를 사용하였고, 타겟은 순수한 Ti 및 Ta를 사용하였다. 증착된 TiN 및 TaN 박막의 미세구조를 XRD 및 SEM으로 관찰 하였고, 화학 조성은 EDS 및 XPS를 이용하여 분석하였다. 박막의 전기 저항은 4- point probe를 이용하여 측정하였다.
TiN 및 TaN 박막의 저항 값은 다른 연구에서 비교된 값과 비슷하거나 작게 측정 되었다. 기판 bias -100V에서
-500V로 다양하게 증착된 TiN 박막
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.