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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)소로나 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-02 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400015082 |
과제고유번호 | 1425080020 |
사업명 | 제품공정개선기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | 스퍼터.고온히터.SiGe 웨이퍼.롬보헤드론 결정구조. |
개발목표:
계획-
6인치 기판을 900℃까지 가열할 수 있는 스퍼터용 기판가열 장치 개발
실적-
6인치 기판을 900℃까지 가열할 수 있는 기판가열장치 개발 완료 및 스퍼터 장치에의 적용
정량적 목표항목 및 달성도:
1) 기판온도 900℃ 가열
2) 온도균일도 <±1%
3) 히터크기 6인치
4) 승온속도 200℃/min 이상
5) 온도안정화시간 5min 이내
기대효과:
본 과제를 통해 rhombohedral SiGe 증착공정 중에 웨이퍼 온도 900℃까지 인-
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