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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국원자력연구원 |
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연구책임자 | 류재용 |
참여연구자 | 신승규 , 이상준 , 정인하 , 이면주 , 유승호 , 김태훈 , 유병학 , 최창용 , 김종범 , 김남돈 , 김남형 , 김상윤 , 변원섭 , 서경모 , 이재호 , 임종배 , 최승근 , 한재희 , 그외 다수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-04 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 환경부 |
사업 관리 기관 | 한국환경산업기술원 |
등록번호 | TRKO201400018882 |
과제고유번호 | 1485011193 |
DB 구축일자 | 2014-11-22 |
키워드 | 이동형 전자빔처리,삼불화질소 처리,반도체 공정,고효율 전자빔Mobile electron beam treatment,NF3 treatment,Semiconductor process,High performance electron beam |
연구개발 결과
주요연구내용
-최적NF3 가스 처리를 위한 경제적인 전자빔 조사(흡수)선량 선정
-최적의 효율을 위한 additive gas 선정
-독성물질 (NF3) 처리효율 80 % 이상
-처리용량 5,000/20,000 LPM 규모의 (슈퍼)대용량 가스 처리기술 및 설계 인자 도출
주요연구성과
-2,000 LPM급 Pilot 규모 처리시스템 설계 및 제작
-NF3 1,000 ppm, 2,000 LPM 조건에서 처리효율 80 %
Ⅳ. Results
The decomposition of NF3 using only an electron beam, and an electron beam in the presence of additive gases (H2,O2,and water vapor), was studied. The results in this study indicate that the decomposition of NF3 gas is dependent on the total
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