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연합인증

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[국가R&D연구보고서] CVD(Chemical Vapor Deposition)용 샤워헤드 제작을 위한 스파크 본딩(Spark Bonding) 장비 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 세향산업(주)
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2013-09
과제시작연도 2012
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
연구관리전문기관 한국산업단지공단
Korea Industrial Complex Corporation
등록번호 TRKO201400019594
과제고유번호 1415125442
사업명 산업집적지경쟁력강화사업
DB 구축일자 2014-11-29
키워드 샤웨헤드.스파크 플라즈마 소결.화학증착.에페텍시.

초록

2. 개발내용 및 결과
- Sus 용접시 산화 방지 및 고온에 견디는 구조를 가지는 진공 챔버를 설계를 하였고, 또한 고른 용접성을 갖기 위한 유압 압력 시스템은 여러 가지 해석을 통해 견고한 구조를 갖는 설계를 통해 진공 챔버 장비를 개발하였다. 그리고 대 전류를 발생시키는 Power Supply를 제작하여 약 1050℃로 가열하여 CVD 샤워헤드 시제품을 제작하였다.

표/그림 (108)

참고문헌 (25)

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