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NTIS 바로가기주관연구기관 | 금오공과대학교 산학협력단 Kumoh National Institute of Technology |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-05 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201500003325 |
과제고유번호 | 1711006923 |
사업명 | 일반연구자지원(미래부) |
DB 구축일자 | 2015-05-16 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201500003325 |
본 연구진은 선택적으로 산화된 그래핀을 나노전자소자에 유전체로 사용해 그래핀 트랜지스터를 제조하여, 실리콘 전자소자의 Si/SiO2 공정과 같이 그래핀/산화 그래핀 전자소자를 저비용/고효율 그래핀 전자소자의 원천기술 개발 및 이의 원천 특허를 확보하는 연구를 수행하였다. 보다 구체적으로 설명을 하면, 선택적으로 유전체로 쓰일 영역을 선택적으로 산화시켜 산화 그래핀 절연 층으로 제조하고, 이의 유전율과 전기적 특성을 도핑과 선택적 산화/환원을 통해 조절한다. 그래핀을 선택적으로 산화시키는 공정을 개발해, 선택적 영역에서 산화되는 산화
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