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NTIS 바로가기주관연구기관 | 호서대학교 산학협력단 Hoseo University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-11 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500006053 |
과제고유번호 | 1425085323 |
사업명 | 첫걸음기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-06-06 |
2. 개발내용 및 결과
◦ 고온(320℃)에서 열 변형, 열 충격에 강하고 열전도율이 우수한 재질의 확보에 성공하여 시제품의 제작을 통해 실험적 검증
◦ AlN을 이용한 고온용 플레이트의 최적 히팅 용량 및 온도제어 기술 확보(온도 Uniformity≤2℃)
◦ 히터 패턴 설계 및 고온 진공 챔버 구조 설계
◦ 진공 열처리 시스템의 공정 사양 확보 (1차 진공압 200 mTorr 이하, 2차 진공압 200~300 Torr, 2시간 이상 유지)
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