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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-08 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500014413 |
과제고유번호 | 1425080630 |
사업명 | 중소기업이전기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-09-26 |
키워드 | 반도체 검사.방사선 영상.정량적 영상평가. |
□ 개발목표:
계 획:
반도체 웨이퍼 검사용 200nm급 극정밀 방사선 영상 기술 개발
실 적:
반도체 웨이퍼 검사용 200nm급 극정밀 방사선 영상 기술 개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도:
1. X-선원 초점 크기
계획 : 0.6μm
실적 : 0.59
2. 최대 X-선에너지
계획 : 120kV
실적 : 120
3. 최대 관전류
계획 : 200uA
실적 : 200
4. 영상 해상도
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