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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)정원기술 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-09 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500015718 |
과제고유번호 | 1425081255 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-10 |
키워드 | 레이저.비전 시스템.박막 어브레이션. |
□ 개발목표
계획
레이저를 이용한 바이오 센서의 어브레이션을 건식 식각하는 기술 개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 스테이지 정밀도 : 계획(±10um), 실적(±2 ㎛ ~ ±10 ㎛)
2. 가공 선폭 : 계획(95um±5um), 실적(94.25㎛)
3. 반복가공 정밀도 : 계획(±50um), 실적(- 0.375 ㎛)
4. 가공 경로 최적화 : 계획(18sec), 실적(18.03 sec 99.8)
□ 기대효과
■기술적 측면
- 기존 공정 대비, 정밀도 향상
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