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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)썸백 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201500016859 |
과제고유번호 | 1425073291 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-24 |
키워드 | 탄화규소.화학기상증착.고순도.SiC.CVD.High Purity. |
□ 개발목표
계획
다양한 공정대응 가능 탄화규소용 CVD 합성장치 Pilot plant를 구축하고 이를 활용하여 열유동해석 및 기상합성 증착 모델을 확립하고 탄화규소용 CVD 합성장치 시스템 최적화 및 양산모델 개발
실적
- 탄화규소용 CVD 합성장치 Pilot plant를 구축 완료
- 열유동해석 및 기상합성 증착 모델을 확립
- 탄화규소용 CVD 합성장치 시스템 최적화 및 양산모델 개발 완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Work Zone (mm) : 계획(∅450×500
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