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NTIS 바로가기주관연구기관 | 에이피시스템(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-01 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500017273 |
과제고유번호 | 1425070502 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발지원 |
DB 구축일자 | 2015-10-31 |
키워드 | 능동유기발광다이오드.결정화설비.레이저.선형빔.프로세스모듈. |
개발목표
계 획
대형빔을 이용한 레이저 결정화 설비 개발
실 적
레이저 결정화 설비 개발 완료
정량적 목표항목 및 달성도
1. 레이저 출력 : 계획(4 J ), 실적(1. 레이저 출력 4 J)
2. 대형빔 길이 : 계획(1300 mm ), 실적(2. 대형빔 길이 1300 mm)
3. O2 농도 제어 : 계획(< 20 ppm ), 실적(3. O2 농도 제어 < 20 ppm)
4. Stage 제어 : 계획(< ±0.5% ), 실적(4. Stage 제어 < ±0.5%)
기대효과
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