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NTIS 바로가기주관연구기관 | 씨엔비산업(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500017477 |
과제고유번호 | 1425070246 |
사업명 | 창업성장기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-31 |
키워드 | NH4F.BOE.etchant.reaction.process. |
□개발목표
계 획
◦ 반도체 및 전자용 초고순도 NH4F 제조공정 개발
- Target : 순도 (∼100ppt)
◦ 시제품 제조 및 품질분석
실 적
- NH3 가스정제
- NH4F 합성
- BOE 제조
- 웨이퍼 에칭
- 공정도 작성
□정량적 목표항목 및 달성도
1. NH4F 순도:계획( ~100ppt),실적( NH4F 합성)
2. BOE:계획( ~100ppt),실적( BOE제조 및 에칭 TEST )
3. 제조공정도:계획( 1 set )
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