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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국반도체연구조합 Consortium of Semiconductor Advanced Research |
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연구책임자 | 명재민 |
참여연구자 | 유승진 , 민명식 , 배정운 , 김두영 , 최명운 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-10 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201700001215 |
과제고유번호 | 1415124481 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 태양전지.진공 증착.균질도.선형 증발원.CIGS. |
□ 최종목표
○ 대면적 Si 박막형 태양광 장비기술 개발
- 대면적 박막형 태양광 장비 평가기술 개발
- 대면적 대응 플라즈마 기술 및 고속박막 증착장비기술 개발
- 투명전도막 및 배면전극증착 장비기술 개발
- 대면적 박막형 태양광 대응 Laser Scribing 장비기술 개발
○ 대면적 CIGS 태양전지용 고온 증발 장비 기술 개발
□ 개발내용 및 결과
< 1단계 >
◦ 1세부
1) 5G급 고주파(60MHz) 고밀도 /고속 VHF PECVD 증착장비 개발
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