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NTIS 바로가기주관연구기관 | 유프러스렙 |
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연구책임자 | 차경순 |
참여연구자 | 전순옥 , 서성보 , 홍석표 , 최영진 , 장석춘 , 김종호 , 전수지 , 박정현 , 김혜인 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-11 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업단지공단 Korea Industrial Complex Corporation |
등록번호 | TRKO201700006910 |
과제고유번호 | 1415131122 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화사업 |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 테스트소켓.정밀공차.테이퍼 오픈.고속검사.도전성 금속 폴리머. |
1. 최종목표
- Hole간 공차 : +-10um
- Metal Open Area : +-30um
- Hole Taper Polymer Etching : +-70um
- Metal Thicness : min 5um
- Etch Rate : 4.0
- CNT 인장강도 : 20%증가
ᅳ CNT 흡습율 :10% 감소
2. 개발내용 및 결과
- Hole 간 공차 : +-7um
- Metal Open Area : +-29.6um
- Hole Taper Polymer Etchi
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