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NTIS 바로가기주관연구기관 | 광운대학교 Kwangwoon University |
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연구책임자 | 구상모 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-05 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
연구관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201700013834 |
과제고유번호 | 1345235813 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2017-11-25 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700013834 |
▪ 고에너지갭(WBG; Wide Band-Gap)소재는 높은 열전도도, 전자포화속도, 열적안정성 등의 뛰어난 물성으로 인해 차세대 반도체 소자에 적용가능한 소재로서 큰 주목을 받고 있음. 진성반도체 특성이 나타날수록 전도도가 낮고, 전하 도핑을 위한 도펀트 역시 상대적으로 깊은 에너지 레벨을 형성하게 되므로, 응용시 SPM(Scannning Probe Microscopy)과 같은 정밀 분석이 중요하며 보다 높은 효율이 요구됨에도, 관련 연구가 매우 미흡한 상황임. 본 연구에서는 WBG 소재 분석 및 소자구현을 위하여, 발전된 SPM
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