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NTIS 바로가기주관연구기관 | 중앙대학교 Chung Ang University |
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연구책임자 | 김창일 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-05 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
연구관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201700013879 |
과제고유번호 | 1345238958 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2017-11-25 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700013879 |
본 연구 과제는 차세대 플렉시블 디스플레이에 적용 가능한 산화물 기반의 소자를 개발하기 위해 저온 증착 공정이 가능하고 차세대 디스플레이에 이용하기 위하여 전기적, 광학적, 구조적 특성이 뛰어난 투명 전극 공정 조건 연구와 우수한 절연막 특성을 가진 산화물 박막의 개발과 산화물 채널을 패터닝하기 위해 최적화된 플라즈마 건식 식각 공정의 개발을 목표로 연구를 진행하였다.
1. 플렉시블 디스플레이에 적용 가능한 산화물 및 산화물의 저온 공정 연구
- 저온 공정을 이용한 AZO 박막의 증착 공정 연구
투명 전극 재
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