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NTIS 바로가기주관연구기관 | 홍익대학교 Hongik University |
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연구책임자 | 박승호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-05 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800005050 |
과제고유번호 | 1345248014 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2018-05-05 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800005050 |
본 과제에서는 대면적 유연 디스플레이 제작공정용 투명 전도성 박막 (indium-tin-oxide: ITO 및 indium-gallium-zinc-oxide: IGZO)의 열처리기법으로써 Flash Lamp Annealing (FLA) 공정의 이론적, 실험적 연구를 진행하였다.
제 1차년도에는 투명 전도성 박막의 광특성을 측정하였고 이를 기반으로 광학적 물성에 대한 data base를 구축하였다. 가시광선 영역에서 흡수율이 낮은 투명 전도성 박막의 선택적 열처리를 위해서는 투과된 빛을 재반사 시켜야 했으며, ray-tr
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