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NTIS 바로가기주관연구기관 | 씨티에스(주) |
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연구책임자 | 이대준 |
참여연구자 | 박성진 , 은혁수 , 장준혁 , 이승혜 , 김우식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201800012616 |
과제고유번호 | 1425066747 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2018-07-21 |
키워드 | 초음파.차세대 유리기판.양면세정.USC.VUV. |
□ 개발목표
- 계획 : 인라인 형태의 양면동시 세정이 가능한 건식 세정기 개발
- 실적 : 개발완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
2. 크기대응
- 계획 : 10세대
- 실적 : 2500X2800mm 개발완료
3. 유리기판 두께
- 계획 : 0.5이하
- 실적 : 0.5mm 이하 완료
4. 제진율
- 계획 : 98%이상
- 실적 : 99% 이상
5. 블로우어 소음
- 계획 : 75
- 실적 : 75dB 이하
6. 전력
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