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| 과제명 | 3차원 반도체 제조산업의 기술 한계 극복을 위한 진단센서·빅데이터·컴퓨팅 기반의 고성능/고신뢰성 플라즈마 공정 예측 및 제어모듈 개발 선행연구 |
|---|---|
| 주관연구기관 |
국가핵융합연구소 National Fusion Research Institute |
| 보고서유형 | 1단계보고서 |
| 발행국가 | 대한민국 |
| 언어 | 한국어 |
| 발행년월 | 2018-02 |
| 과제시작년도 | 2017 |
| 주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
| 등록번호 | TRKO201800023281 |
| 과제고유번호 | 1711060925 |
| 사업명 | 국가과학기술연구회연구운영비지원 |
| DB 구축일자 | 2018-06-30 |
| 키워드 | 공정데이터.공정진단.제어.시뮬레이션.신뢰성.Processing Data.Diagnostics.Process Control.Simulation.Reliability. |
| DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800023281 |
플라즈마 공정에 대한 진단과 소재, 장비 및 부품의 신뢰성 평가 데이터 등을 종합적으로 활용하여 공정/장비의 가상계측과 이상판단이 가능한 예측 S/W 및 제어모듈 (APECM: Advanced Process & Equipment Co...
IV. Result of the study
In this research, we developed integrated plasma diagnostics system for plasma modeling and simulation....
