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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0070240 (2019-06-13) | |
공개번호 | 10-2019-0141613 (2019-12-24) | |
등록번호 | 10-2241621-0000 (2021-04-13) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020180068197 (2018-06-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190070240 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-06-13) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 복수개의 단위 전극 기판을 연결함으로써 소형 전극부터 대형 전극까지 운영할 수 있는 대기압 플라즈마용 멀티형 전극 장치에 관한 것으로서, 내부에 수용 공간이 형성되는 케이스; 상기 케이스에 설치되고, 상기 수용 공간에 공정 가스를 공급할 수 있는 가스 공급관; 상기 케이스에 설치되고, 전극용 전원을 인가할 수 있는 전원 장치; 상기 케이스에 설치되고, 복수개의 가스 배출구가 형성되는 가스 배출판; 및 상기 가스 배출판과 이격되도록 상기 수용 공간에 설치되고, 상기 전원 장치와 전기적으로 연결되며, 복수개의 단위 전극 기판
내부에 수용 공간이 형성되는 케이스;상기 케이스에 설치되고, 상기 수용 공간에 공정 가스를 공급할 수 있는 가스 공급관;상기 케이스에 설치되고, 전극용 전원을 인가할 수 있는 전원 장치;상기 케이스에 설치되고, 복수개의 가스 배출구가 형성되는 가스 배출판; 및상기 가스 배출판과 이격되도록 상기 수용 공간에 설치되고, 상기 전원 장치와 전기적으로 연결되며, 복수개의 단위 전극 기판들이 길이 방향으로 길게 배치되도록 복수개의 상기 단위 전극 기판들이 적어도 일렬을 이루어서 연달아 배치되는 멀티 전극 기판;을 포함하고,상기 전원 장치는,
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