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NTIS 바로가기주관연구기관 | 광운대학교 Kwangwoon University |
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연구책임자 | 구상모 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201900025465 |
과제고유번호 | 1345272454 |
사업명 | 개인기초연구(교육부) |
DB 구축일자 | 2020-08-29 |
키워드 | 고에너지갭 반도체.실리콘 카바이드.트렌치 구조. Low off-axis. |
연구개요
고에너지 갭 반도체 재료 중에서도 특히 SiC 및 GaN, ZnO 등의 WBG 소재의 이종접합구조는 고전력/고주파/광소자/고온에서 매우 뛰어난 장점을 가지므로, 차세대 소자 구현을 위한 높은 연구가치와 함께 산업응용분야에서도 중요성이 인식되고 있음. 본 연구에서는 기존 기판/에피를 개선하고 새로운 결정구조와 소자 구조 맞춤형 공정 방법을 새로이 적용하여, 고효율 이종접합 구조기반 소자에 적용하기 위한 연구로서, (i) low off-axis 결정방향에 기반하여, 성장 원리를 규명하고 (ii) trench구조를 형성하고
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