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NTIS 바로가기주관연구기관 | 동명대학교 |
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연구책임자 | 이현섭 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO201900026164 |
과제고유번호 | 1345272273 |
사업명 | 개인기초연구(교육부) |
DB 구축일자 | 2020-08-29 |
키워드 | 하이브리드 가공.입자유동베드 가공.화학기계적연마.표면다듬질 가공.마이크로/나노 미스트.입자가공.표면화학반응. |
□ 연구개요
입자유동베드가공(Abrasive Fluidized Bed Machining) 기술은 복잡한 형상을 가진 기계부품의 다듬질 가공에 적용이 가능하다는 큰 장점을 가진 반면, 연삭이나 연마와 같은 기계가공 공정에 비하여 낮은 효율을 보이는 단점이 있다. 그리고, 반도체 공정 중 하나로 활용되고 있는 화학기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing; CMP) 기술은 고품위 표면 가공에 적합하나 3차원 형상 가공에 대한 약점을 가지고 있다. 본 연구에서는 표면화학반응 및 기계적 제거작용을 이용한 입자유
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