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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
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연구책임자 | 박형호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-08 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202000007591 |
과제고유번호 | 1711043410 |
사업명 | 개인연구지원 |
DB 구축일자 | 2020-09-19 |
키워드 | 음이온 도핑.원자층 증착법.ALD 음이온 소스.투명 유연소자.유기발광다이오드.ALD 산화물 박막.전기적 특성.광학적 특성.유전적 특성.anion doping.atomic layer deposition.anion source.transparent flexible device.OLED.oxide thin films.electrical property.optical property.dielectric property. |
□ 연구의 목적 및 내용
본 과제에서는 차세대 투명/유연 전자소자에 적용할 수 있는 음이온이 도핑된 투명 산화물 반도체 및 절연체 박막의 ALD를 이용한 제조에서 확보된 ALD 소스 및 형성공정과 관련한 원천 기술로부터 산화물 박막제조 및 특성평가 기술을 체계화하여 고기능, 고신뢰성을 갖는 투명 산화물 반도체 및 절연체 박막의 특성을 최적화함으로써 차세대 전자소자기술의 경쟁력을 확립하였음. 음이온 도판트 기반의 투명 산화물 박막 제조에 대한 원천 기술을 확보하고 산화물 박막 제조 및 특성 평가를 체계화하여 고기능, 고신뢰성을
□ Purpose& contents
This project developed anion-doped transparent conducting or insulating thin films by ALD through usage of homemade ALD sources and development of ALD process. Based on this research, we developed and applied the oxide thin film which is needed to optimize the characteristics
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