초록 ▼

□ 기존 제품 및 서비스와 기술개발 융합결과
주관기관인 ㈜유비트로닉스의 4인치 웨이퍼 공정기술 및 관성센서 설계기술, 관성센서 제어시스템 및 교정기술 + 참여기관인 나노종합기술원의 8인치 공정기술을 적용 ⇒ 관성센서 시제품을 개발

□ 최종목표
o 드론용 MEMS 관성센서용 MEMS 소자 개발
• MEMS 관성센서(자이로, 가속도) 소자 개발
- MEMS 자이로용 구조물 크기 5mm X 5mm 이하
- Q값 30,000 이상
- 주파수 이격 15Hz 이내 (공진주파수 15kHz 기준)

□ 기존 제품 및 서비스와 기술개발 융합결과
주관기관인 ㈜유비트로닉스의 4인치 웨이퍼 공정기술 및 관성센서 설계기술, 관성센서 제어시스템 및 교정기술 + 참여기관인 나노종합기술원의 8인치 공정기술을 적용 ⇒ 관성센서 시제품을 개발

□ 최종목표
o 드론용 MEMS 관성센서용 MEMS 소자 개발
• MEMS 관성센서(자이로, 가속도) 소자 개발
- MEMS 자이로용 구조물 크기 5mm X 5mm 이하
- Q값 30,000 이상
- 주파수 이격 15Hz 이내 (공진주파수 15kHz 기준)
• MEMS 가속도계 구조물 크기 6mm X 6mm 이하
- 공진주파수 1kHz 이내
o 드론용 MEMS 관성센서 제작 및 평가
• 자이로 3축 + 가속도계 3축
• 바이어스 반복도 : 자이로 20deg/hr, 가속도계 1mg 이하
• 바이어스 안정도 : 자이로 5deg/hr, 가속도계 0.5mg 이하
• 크기 : 지름 50mm X 높이 35mm

□ 출시 제품 및 서비스 현황
1. MEMS 관성센서(단품, 모듈) - 완제품
2. 서비스
3. MEMS 소자(자이로, 가속도계) - 부품
4. MEMS 소자 웨이퍼 공정기술 - 요소기술

□ 개발내용 및 결과
o MEMS 진동형 구조물 소재로 실리콘 기판을 사용한 MEMS 자이로 및 가속도계용 소자 개발
o 5.0mm x 5.0mm 이하의 MEMS 자이로 Die 소자 개발
o Q값 30,000 이상 및 링모드 공진주파수 이격 15 Hz이내를 갖는 MEMS 자이로용 소자 개발
o 6.0mm x 6.0mm 이하의 MEMS 가속도계 Die 소자 개발
o 개발된 소자를 적용한 MEMS 관성측정기 제작 및 성능확인
o 공인 신뢰성 시험성적서(자이로 및 가속도계용 소자)
o 기능 시험성적서 (유비트로닉스 자체시험성적서)

□ 기술개발배경
국내 군수시장에서 군수급 MEMS 관성센서에 대한 수요가 증가하면서, 현재 양산성 증대가 필요함에 따라 ‘ICT R&D 바우처 지원사업‘을 통해 8인치 공정기반 MEMS 소자 제작기술 개발을 진행

□ 핵심개발기술의 의의
○ 8인치 기반 MEMS 소자 제작기술을 통한 생산성 확대
- 4인치 공정에서 8인치 공정으로 생산성 4배 증대
- 기존 MEMS 소자 부품가격 최소 50%이상 절감 예상
- 국가기반 시설을 통한 양산지원으로 인해 생산 안정성 증대.

□ 적용분야
스마트폰, 자동차, 드론 및 국방 등

(출처 : 초록 - 2. 개발결과 요약 5p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 최종보고서 초록 ... 4
• 주요 연구성과 ... 10
• 국문 요약문 ... 14
• 목차 ... 16
• 제 1 장 서 론 ... 17
• 제 1 절 주관기관의 소개 및 바우처 사업의 지원 필요성 ... 17
• 제 2 절 필요기술(개발기술) 및 적용 제품/서비스의 개요 ... 18
• 제 3 절 필요기술(개발기술)이 적용된 제품/서비스의 국내외 시장의 현황 ... 19
• 제 4 절 기술개발 시 예상되는 기술적‧경제적 파급효과 ... 21
• 제 2 장 기술개발 내용 및 결과 ... 22
• 제 1 절 필요기술의 기술개발 범위 및 목표 요구사항 ... 22
• 제 2 절 최종 기술개발 목표 및 평가 방법 ... 23
• 제 3 절 기술개발 추진체계, 방법 및 일정 ... 31
• 제 4 절 기술개발 추진계획 대비 실적 및 성과 ... 34
• 제 3 장 주관기관의 사업화 계획 ... 61
• 제 1 절 기술개발 결과물의 적용(예정) 형태 및 기존 제품과의 우수성(차별성) ... 61
• 제 2 절 현재까지의 내재화 및 사업화 실적(계획) ... 65
• 제 3 절 최종 제품/서비스의 시장 전망 및 향후 5년간의 사업화 계획 ... 66
• 제 4 절 기대효과 ... 66
• 제 4 장 사업비 사용현황 ... 67
• 1. 비목별 총괄표(주관+공동) ... 67
• 2. 참여연구원 ... 68
• 3. 위탁 및 용역과제 ... 68
• 【별첨 2】 자체보안관리진단표 ... 69
• 【별첨 3】 성과관련 스토리텔링 자료 ... 70
• 【별첨 4】 성과 및 만족도(애로사항) 조사서 ... 72
• 【별첨 5】 성과요약 ... 72
• 【별첨 6】 과제수행(기관) 관련 각종 홍보자료 첨부(신문, 방송, URL 등) ... 72
• 끝페이지 ... 73