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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 유경훈 |
참여연구자 | 황준영 , 이상호 , 박수빈 , 조병철 , 황태호 , 한승헌 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-12 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202100008096 |
과제고유번호 | 1711100868 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2021-08-07 |
키워드 | 공간분할 ALD공정.고생산성 공정챔버.하부챔버 회전.마그넷씰.자성유체.Spatial ALD process.High-productivity process chamber.Lower chamber rotation.Magnet seal.Ferrofluid. |
□기업의 애로사항
O 하부챔버 회전에 의한 공정 진공도 확보의 애로 (1차년도, 2019년)
O 웨이퍼 공정공간의 마이크로갭(micro gap) 확보의 애로 (2차년도, 2020년)
□지원(해결) 내용
O 공정 진공도의 확보를 위한 마그넷씰의 구조 최적화 및 마그넷 진공실링 기술의 완성후 세부설계 지원
▪ 자성유체의 선정 : 포화자기밀도 600 G (gauss), 증기압 1x10-7 mPa·s
▪ 영구자석의 선정 : Nd (Neodymium) magnet, 5,000 G (
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