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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)프라임솔루션 |
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연구책임자 | 홍장식 |
참여연구자 | 허민 , 임성빈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-02 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202200004950 |
과제고유번호 | 1711125847 |
사업명 | ICT혁신기업기술개발지원사업(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-09 |
키워드 | 반도체식각.4채널.공정진단.광스펙트럼.인공지능.Semiconductor etching.4 channel.Process monitoring.Optical spectrum.AI. |
연구개발 목표 및 내용
최종 목표
반도체 식각공정 공간균일도 실시간 예측을 위한 AI기반 4채널 광스펙트럼 분석플랫폼 개발
전체 내용
채널수 = 4, 공정예측 정확도 ≥ 90%, 예측시간 ≤ 100 ms/ch, 공간분해능 ≤ 6 cm
1년차
(2단계)
목표 : 실시간 예측을 위한 AI기반 4채널 광 스펙트럼 분석플랫폼 개발
내용 : 제품 개발을 위한 HW & SW 개발
2년차
(2단계)
목표 : 실시간 예측을 위한 AI기반 4채널 광 스펙트럼 분석플랫폼 개발<
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